等离子体离子源用于CVD等离子体的现状,限制和可能性
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1赵文涛,亢孝俭.空心阴极重离子源的研究[J].西安交通大学学报,1991,25(2):57-60.
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2王惠三,简广德,姜韶风.HL-2中性束注入器离子束系统的设计计算[J].中国核科技报告,1996(1):650-660. 被引量：2
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3刘经天,郝东山.Compton散射下离子初始速度对等离子体鞘层厚度的影响[J].原子与分子物理学报,2014,31(3):443-446. 被引量：4
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4石磊,金大志,唐平瀛.等离子体扩张和离子引出的初步模拟[J].中国工程物理研究院科技年报,2006(1):88-88.
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5尤大伟,李晓谦,王宇,林永昌.The Gridless Plasma Ion Source (GIS)for Plasma Ion Assisted Optical Coating[J].Plasma Science and Technology,2004,6(4):2416-2418.
