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用于PIII的高电压脉冲发生器
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作者
卫冰
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第1期12-13,共2页
关键词
等离子体浸没离子植入
高电压
脉冲发生器
分类号
TL629.1 [核科学技术—核技术及应用]
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等离子体应用技术快报
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