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放电频率对高密度Cl2等离子体中等离子体特性和蚀刻特性的影响

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作者 文允鉴
出处 《等离子体应用技术快报》 2000年第1期19-21,共3页
关键词 放电频率 氯气等离子体 等离子体特性 蚀刻特性
分类号 O53 [理学—等离子体物理]
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等离子体应用技术快报
2000年 第1期

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