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摘要 Schott公司推出MEMS产业超薄玻璃晶圆北美Schott公司面向MEMS技术应用市场，凭借MEMpax 推出了新型超薄高品质硼硅玻璃晶圆，图1所示为其超薄高品质MEMpax 硼硅酸盐玻璃。

作者王玲

出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第8期562-562,共1页 Micronanoelectronic Technology

关键词产品超薄玻璃 MEMS技术硼硅酸盐玻璃 tt公司 EMS产业硼硅玻璃晶圆

分类号 TQ171.7 [化学工程—玻璃工业]

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微纳电子技术

2012年第8期

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