期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
非晶硅薄膜太阳能电池生产过程及关键设备介绍
被引量：
2
下载PDF
职称材料
导出
摘要
简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺,特别介绍了等离子化学气相沉积(PECVD)反应沉积室四种结构和特点,以及非晶硅薄膜电池生产设备的特点,以及未来发展方向。
作者
杜容熠
机构地区
南京高新技术产业开发区管理委员会
出处
《科技风》
2011年第24期31-32,34,共3页
关键词
非晶硅薄膜太阳能电池
镀膜技术
等离子化学气相沉积(PECVD)
工艺流程
反应沉积室
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
13
参考文献
5
共引文献
25
同被引文献
26
引证文献
2
二级引证文献
7
参考文献
5
1
吕宝堂,赵晖,郑君,贾兆滨,邹邦涛.
非晶硅太阳电池的衰减与退火[J]
.半导体技术,2002,27(7):65-67.
被引量：6
2
梁勇.
真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展[J]
.真空,2005,42(3):6-10.
被引量：6
3
袁育杰,侯国付,薛俊明,韩晓艳,刘云周,杨兴云,刘丽杰,董培,赵颖,耿新华.
微晶硅n-i-p太阳电池中n型掺杂层对本征层结构特性的影响[J]
.物理学报,2008,57(6):3892-3897.
被引量：7
4
邹红叶.
硅薄膜太阳能电池的原理及其应用[J]
.物理通报,2009,30(5):56-57.
被引量：10
5
龚建华,柳俊文,张永胜.
大平面玻璃基片磁控溅射真空镀膜简介(一)[J]
.真空,2006,43(2):1-4.
被引量：3
二级参考文献
13
1
龚建华.
镀膜玻璃膜层均匀性探讨[J]
.真空,1996,33(2):20-24.
被引量：3
2
吕宝堂,王滨生,胡宏勋.
聚合物衬底非晶硅太阳电池的研制[J]
.太阳能学报,1996,17(3):252-255.
被引量：9
3
张锐.
薄膜太阳能电池的研究现状与应用介绍[J]
.广州建筑,2007,35(2):8-10.
被引量：11
4
雷永泉 万群 等.新能源材料[M].天津:天津大学出版社,2001..
5
Meier J,Fluckiger R,Keppner H,Shah A 1994 Appl.Phys.Lett.65 860
6
Vetterl O.Finger F,Carius R 2000 Solar Energy Materials & Solar Cells 62 97
7
Roschek T,Repmann T,Muller J,Rech B,Wagner H 2003 J.Vac.Sci Technol A 20 492
8
Hou G F,Xue J M,Guo Q C,Sun J,Zhao Y,Geng X H,Li Y G 2007 Chin.Phys.16 553
9
Vallat-Sauvain E,Bailat J.Meier J,Niquille X,Kroll U,Shah A 2005 Thin Solid Films 485 77
10
Kroll U,Meier J.Torres P,Pohl J,Shah A 1998 J.Non-cryst.Solids 227-230 68
共引文献
25
1
丁学恭,蔡海涛,何勇.
宽幅薄膜高真空卷绕蒸发式镀膜机的研究与设计[J]
.农业工程学报,2007,23(8):145-149.
被引量：1
2
曹源,张志.
在柔性基底上沉积金属薄膜厚度的在线测量[J]
.机械制造与自动化,2007,36(5):86-88.
被引量：1
3
谷锦华,丁艳丽,杨仕娥,郜小勇,陈永生,卢景霄.
椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为[J]
.物理学报,2009,58(6):4123-4127.
被引量：3
4
李力猛,周炳卿,陈霞,韩兵,郝丽媛.
μcSi(n)/cSi(p)异质结太阳电池微晶硅背场的模拟与优化[J]
.信息记录材料,2009,10(3):18-21.
被引量：3
5
王光红,张晓丹,许盛之,孙福河,岳强,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍,赵颖.
p种子层对单室制备微晶硅电池性能的影响[J]
.物理学报,2009,58(10):7294-7299.
6
卢鹏,侯国付,袁育杰,杨瑞霞,赵颖.
n型掺杂层结构对n-i-p型微晶硅电池性能和光致衰退特性的影响[J]
.物理学报,2010,59(6):4330-4336.
被引量：1
7
王永峰.
薄膜太阳能电池生产车间工程设计关键技术探讨[J]
.装备制造技术,2010(7):62-65.
8
乔大勇,陈雪娇,任勇,藏博,苑伟政.
一种基于PIN结的硅基微型核电池研究[J]
.物理学报,2011,60(2):155-163.
被引量：5
9
刘成,周丽华,叶晓军,钱子勍,陈鸣波.
n型层对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响[J]
.功能材料与器件学报,2011,17(2):151-155.
被引量：2
10
郑奇.
非晶硅薄膜太阳能电池稳定性技术研究[J]
.湖北民族学院学报（自然科学版）,2011,29(3):335-337.
同被引文献
26
1
王希文,方小红.
铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其发展[J]
.可再生能源,2008,26(3):13-16.
被引量：18
2
王涛,李玉翔,张福军,姚建铨,刘晓雯,李福增,朱超男.
太阳能硅片双束激光划槽方法与装置[J]
.激光杂志,2008,29(6):80-80.
被引量：1
3
汪华,杨明.
电子化学品的发展现状与前景[J]
.化学工程与装备,2009(3):81-82.
被引量：4
4
邹红叶.
硅薄膜太阳能电池的原理及其应用[J]
.物理通报,2009,30(5):56-57.
被引量：10
5
马光耀,康志君,谢元锋.
铜铟镓硒薄膜太阳能电池的研究进展及发展前景[J]
.金属功能材料,2009,16(5):46-49.
被引量：18
6
全球光伏行业化学品市场趋好[J]
.中国科技财富,2010(7):50-51.
被引量：1
7
曹江.
从投资可行性角度看CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池市场状况走势[J]
.商场现代化,2010(17):92-93.
被引量：4
8
庄陶钧,刘亚东.
有机太阳能电池技术及市场展望[J]
.光机电信息,2010,27(8):1-9.
被引量：3
9
王琦,王娜娜,于军胜,蒋亚东.
有机薄膜太阳电池的研究进展[J]
.半导体光电,2010,31(5):670-676.
被引量：3
10
吴奉炳,张大伟.
太阳能电池中微纳陷光光栅结构[J]
.激光杂志,2010,31(5):15-17.
被引量：7
引证文献
2
1
彭敦云,宋连科,朱久凯,杨海磊,郭文静,栗开婷.
太阳能薄膜电池的研究现状及发展前景[J]
.激光杂志,2013,34(4):1-2.
被引量：5
2
曾群,白占旗,刘武灿,缪光武,何双材.
电子化学品在光伏电池产业中的应用及发展[J]
.低温与特气,2019,37(5):1-6.
被引量：2
二级引证文献
7
1
林丽华,朱锐敏,黄梅萍,周虹,孙诚毅.
浅谈分布式光伏发电经济效益[J]
.现代物业（中旬刊）,2014,13(1):42-43.
被引量：1
2
廖艳闺.
有机太阳能电池材料研究新进展[J]
.科技创新与应用,2016,6(13):64-64.
被引量：3
3
黄燕琴.
企业项目中屋顶分布式光伏发电的经济效益分析[J]
.智能城市,2017,3(3):62-64.
被引量：1
4
黄敏轩,彭波.
湖北地区绿色厂房的探索[J]
.建设科技,2018,0(4):40-43.
5
周恒,孟祥佳.
基于单片机应用的智能婴儿车[J]
.科技创新与应用,2020,0(3):35-36.
被引量：2
6
高一鸣,郝萍,田玉平,曹建雄,陈鹰,李春华.
10 nm制程用电子级氢氟酸中痕量阴离子分析方法[J]
.上海计量测试,2021,48(3):6-8.
被引量：1
7
王颖斐.
浅谈无机材料在有机太阳能电池中的应用[J]
.科学大众（智慧教育）,2016(9).
被引量：4
1
杨兆仁,王福玮.
引进电机制造关键工艺设备介绍[J]
.微特电机,1991(3):39-42.
2
余润心.
汉川电厂引进型30万千瓦发电机组自动控制系统与设备介绍[J]
.电力系统自动化,1991,15(4):109-110.
3
王思留.
两种电极浸渍前的预热及加热设备介绍[J]
.炭素技术,1995,14(4):31-33.
4
秦中利.
耒阳电厂一期工程：镉镍电池直流系统设备介绍[J]
.西整技术通迅,1990(55):51-55.
5
王仕俊,姜涛,王定刚.
智能变电站关键设备介绍及继电保护系统探析[J]
.机电信息,2013(12):13-13.
被引量：1
6
王东,安沙.
水轮机调速器动态特性的微机型仿真测试系统：微机测试设备介绍（四）[J]
.水电厂自动化,1989(4):110-114.
7
李伟,聂启光.
励磁调节器动态特性测试设备：微机测试设备介绍（五）[J]
.水电厂自动化,1989(4):115-118.
8
任满满,江如函.
Ω灯丝自动成型设备介绍[J]
.电光源,1991(2):29-32.
9
孙国俊.
靖电二期工程锅炉本体和辅机设备介绍[J]
.甘肃电力,1996(2):1-10.
10
施锦,丁怀况,陈登科,席海霞,侯波.
超导电缆用2000W@70K制冷系统的设计和计算[J]
.低温与超导,2004,32(4):1-5.
被引量：2
科技风
2011年 第24期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
