产品名称：双离子溅射沉积镀膜机

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摘要产品特点： 1．离子束溅射清洗（IBSC）衬底； 2．离子束终极抛光（IBP）；衬底 3．离子柬溅射沉积（IBSD）薄膜；

出处《中国材料科技与设备》 2012年第2期93-93,共1页 Chinese Materials Science Technology & Equipment

关键词溅射沉积双离子产品名称镀膜机离子束溅射产品特点衬底薄膜

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中国材料科技与设备

2012年第2期

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