摘要
分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。
Two kinds of operation mode of scanning tunneling microscope （STM） are analyzed, i. e. , constant-height mode and constant - current mode for STM. Successful applications of practical nanofabrication for scanning probe microscope are taken for examples, show that it is feasible for nano- fabrication technology in both theory and practice.
出处
《电加工与模具》
2012年第4期45-48,共4页
Electromachining & Mould
关键词
原子级加工
特种加工
纳米技术
nanofabrication
nontraditional machining
nanotechnology
