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美开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜

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摘要 美国麻省理工学院的研究人员利用电子束光刻技术和剥离过程开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜。这是一种很有前途的新材料,可广泛应用并开辟潜在的重点研究领域。
出处 《电子工业专用设备》 2012年第8期66-66,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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