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美开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜
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摘要
美国麻省理工学院的研究人员利用电子束光刻技术和剥离过程开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜。这是一种很有前途的新材料,可广泛应用并开辟潜在的重点研究领域。
出处
《电子工业专用设备》
2012年第8期66-66,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
晶体薄膜
过程开发
半导体
无缺陷
纳米
美国麻省理工学院
电子束光刻技术
研究人员
分类号
TB497 [一般工业技术]
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