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极紫外线技术有望让晶体管“瘦身”75%

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摘要据英国《自然》杂志网站报道，芯片制造商英特尔公司表示，将向总部设在荷兰的半导体设备制造商阿斯麦投资41亿美元，其中10亿美元专门用于极紫外线（EUV）光刻技术的研发，新技术有望让晶体管的大小缩减为原来的1／4。

出处《中国材料进展》 CAS CSCD 2012年第8期19-19,共1页 Materials China

关键词紫外线技术晶体管瘦身《自然》杂志英特尔公司芯片制造商设备制造商光刻技术

分类号 TN32 [电子电信—物理电子学]

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中国材料进展

2012年第8期

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