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多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨 被引量:1

Power Adjustment Scheme and Application Experience of Reduction Furnace
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摘要 多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料,其发展前景光明。还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置,对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用经验。 Reduction furnace power regulator is the heart of the polysilicon production plant.The product quality and the energy consumption of the polycrystalline silicon production are depended on the reduction furnace.This paper describes the production technology and electrical properties of polycrystalline silicon,The power adjustment scheme,and the application experience of the using of the reduction furnace in large-scale polycrystalline silicon production plant.
出处 《工业控制计算机》 2012年第8期112-113,131,共3页 Industrial Control Computer
关键词 还原炉调功器 调功方案 硅芯击穿 恒温加热 reduction furnace power regulator power adjustment scheme silicon core breakdown constant temperate heating
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二级参考文献25

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