对多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术的研究

多晶硅的生产制造离不开多晶硅铸锭炉。铸锭炉工作流程及设备控制的稳定性直接关系到生产的硅锭合格与否,而硅锭的质量与硅片电池的光电转换率紧密相连。本文详细介绍了多晶硅铸锭炉相关的生产工艺、设备组成和控制系统,并对多晶铸锭炉生产工艺控制技术进行了深入研究和探讨。