关于PECVD加热速率对成膜效果的研究

下载PDF

导出

摘要 PECVD是太阳能电池制造过程中非常重要的工序,它的作用是在晶体硅表面形成一层起钝化和减反射作用的膜。本文主要研究SINA设备链式PECVD加热速率与膜厚、折射率之间的关系。通过调整PECVD工艺腔室三个温区的加热速率且在其它条件都不变化的前提下观察加热速率对膜厚、折射率两参数的影响,其结果为:加热速率越快折射率越高,膜厚越小。

作者赵强

机构地区英利能源(中国)有限公司

出处《科技风》 2012年第13期13-13,共1页

关键词 PECVD 加热速率膜厚折射率

分类号 O435.1 [机械工程—光学工程]

引文网络
相关文献

参考文献3

1Martin A.Green.硅太阳能电池[M]上海:上海交通大学出版社,2011.
2熊绍珍.太阳能电池基础与应用[M]北京:科学出版社,2009.
3张以忱.真空镀膜技术[M]北京:冶金工业出版社,2009.

1尹东,张永慧,李承斌,张现周.Magic Wavelengths for the 1S-2S and 1S-3S Transitions in Hydrogen Atoms[J].Chinese Physics Letters,2016,33(7):59-62.
2苏锡国,黄语嫣,徐赫骏.基于热力学原理的自动调节水位装置设计[J].大学物理实验,2015,28(4):51-53.
3徐酉阳,周飞,谢艺.A New Approach to Measurement of Heating Rate of Trapped Ions[J].Communications in Theoretical Physics,2010(9):460-462.
4冯仕虎.一个三角形不等式的推广及应用[J].中学数学研究,2009(9):18-19.
5申祝平.值得注意的一个等价关系[J].中学生数学（高中版）,2009(1):11-11.
6孙幸荣,汪飞.两个优美的几何恒等式[J].数学通报,2005,44(2):57-58. 被引量：5
7秦伟伟.一个三角不等式的加强[J].数学教学通讯（教师阅读）,2008(9):64-64.
8杨先义.一个结论的简证[J].数学通讯（教师阅读）,2007,21(4):17-17.
9陈继雄.锐角三角形中一个不等式的加强[J].数学通讯（学生阅读）,2009(5):60-60.
10郝四柱.整数度数的正余弦何时才能是有理数[J].数学通报,2014,53(1):53-54. 被引量：1

科技风

2012年第13期

浏览历史

内容加载中请稍等...

关于PECVD加热速率对成膜效果的研究

参考文献3

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史