乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜被引量：2

Synthesis of High Quality and Compact Diamond Thick Films in Acetylene-oxygen Flame

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摘要通过实验分析了沉积温度、乙炔 The effects of the deposition temperature and the oxygen to acetylene flow ratio on the quality of diamond thick films are analyzed.The growth process of diamond thick films is studied.

作者张宏志姚英学陈朔冬

机构地区哈尔滨工业大学

出处《新技术新工艺》北大核心 2000年第4期40-41,共2页 New Technology & New Process

关键词金刚石厚膜燃焰法 CVD 金刚石刀具 diamond thick film,combustion flame method,chemical vapor deposition

分类号 TG711.06 [金属学及工艺—刀具与模具]

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相关文献

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