乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜被引量：2

Synthesis of High Quality and Compact Diamond Thick Films in Acetylene-oxygen Flame

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摘要通过实验分析了沉积温度、乙炔 The effects of the deposition temperature and the oxygen to acetylene flow ratio on the quality of diamond thick films are analyzed.The growth process of diamond thick films is studied.

作者张宏志姚英学陈朔冬

机构地区哈尔滨工业大学

出处《新技术新工艺》北大核心 2000年第4期40-41,共2页 New Technology & New Process

关键词金刚石厚膜燃焰法 CVD 金刚石刀具 diamond thick film,combustion flame method,chemical vapor deposition

分类号 TG711.06 [金属学及工艺—刀具与模具]

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相关文献

参考文献3

11，YoichiHiroseetal.,Thesynthesisofhigh-qualitydiamondincombustionflames,J.Appl.Phys.,1990,685
22，J.J.Schermeretal.,Controlleddepositionofdiamondfromanacetylene-oxygencombustionflame,DiamondandRelatedmaterials,1993,(2):1149～1155
33，Y.Tzengetal.,Growthofdiamondfilmsonsiliconfromanoxygen-acetyleneflam,Appl.Phys.Lett.,1990,56(2)

同被引文献23

1张志勇,王雪文,赵武,陈治明,周水仙.辅助偏压等离子体热丝CVD方法制备金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,2000,29(S1). 被引量：2
2孙心瑷,周灵平.热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进[J].磨料磨具通讯,2006(2):10-14. 被引量：2
3熊礼威,汪建华,满卫东,曹菊琴.化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展[J].激光与光电子学进展,2006,43(7):22-26. 被引量：5
4熊礼威,汪建华,满卫东.MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜[J].辽宁石油化工大学学报,2006,26(4):47-50. 被引量：4
5孙心瑗,周灵平,李宇农,易学华,陈本敬.射频放电辅助热丝CVD金刚石生长速率的研究[J].人工晶体学报,2007,36(2):460-463. 被引量：1
6[1]Shr-Ming Huang,Franklin Chau-Nan Hong.Growth of free-standing diamond films of hemispheric shells[J].Surface & Coating Technology,2006,200:3151-3155.
7[2]Ternyak O,Michaelson Sh,Akhvlediani R,et al.Enhancement of electron emission from near-coalescent nanometer thick continuous diamond films[J].Diamond& Related Materials.2006,15:850-853.
8[3]Gowri M,Li H,Schermer J J,et al.Direct deposition of diamond films on steel using a three-stepprocess[J].Diamond & Related Materials,2006,15:498-501.
9[4]Yizhen Bai,Zengsun Jin,Xiangyi Lu,et al.High rate growth of thick diamond films by high-current hot-cathode PCVD[J].Journal of Crystal Growth,2005,280:539-544.
10[8]Kundu S N,Basu M,Maity A B,et al.Nanocrystalline diamond films deposited by high pressure sputtering of vitreous carbon[J].Material Letters,1997,31:303-309.

引证文献2

1熊礼威,汪建华,满卫东,曹菊琴,谢鹏.基片温度对金刚石厚膜生长的影响[J].武汉工程大学学报,2008,30(1):83-86. 被引量：6
2刘伟,满卫东,曹阳.HFCVD法高速生长金刚石的研究进展[J].真空与低温,2016,22(2):70-74. 被引量：1

二级引证文献7

1陈辉,汪建华,翁俊,孙祁.微波功率对(100)晶面取向金刚石薄膜制备的影响[J].硬质合金,2013,30(2):53-58. 被引量：3
2熊礼威,崔晓慧,汪建华,龚国华,邹伟.基片温度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响[J].武汉工程大学学报,2014,36(3):33-37. 被引量：1
3熊礼威,崔晓慧,汪建华,龚国华,邹伟.硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响[J].表面技术,2014,43(3):6-9. 被引量：4
4芦宝娟.MPCVD法合成金刚石膜的基片影响因素[J].中国胶粘剂,2014,23(9):56-58.
5田宇迪,汪建华,胡晖,翁俊.MPCVD装置基片台改进对金刚石薄膜均匀性的影响[J].硬质合金,2014,31(5):297-301. 被引量：1
6刘辉,汪建华,翁俊,陈义,吴骁.MPCVD制备大面积自支撑金刚石膜研究进展[J].真空与低温,2016,22(6):319-323. 被引量：2
7张旺玺.化学气相沉积法合成金刚石的研究进展[J].陶瓷学报,2021,42(4):537-546. 被引量：8

1陈仑,郑周,张明,赵豪民.燃焰法生长高质量金刚石薄膜的研究[J].磨料磨具与磨削,1992(2):2-6. 被引量：1
2黄树涛,姚英学,袁哲俊.金刚石薄膜涂层刀具及其切削性能的实验研究[J].金刚石与磨料磨具工程,1998,18(5):17-19. 被引量：2
3刘军.“钢启牌”汽油-氧气火焰热切割机具的推广应用[J].船舶工业技术经济信息,1999(12):38-39.
4黄树涛,杜玉波,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2000,20(1):17-19. 被引量：1
5黄树涛,于骏一,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积金刚石薄膜的均匀性研究[J].材料科学与工艺,1999,7(4):67-70.
6黄树涛,许立福,姚英学,袁哲俊.金刚石薄膜涂层刀具的破损机理研究[J].人工晶体学报,2004,33(2):278-281.
7张宏志,姚英学,孙凤莲,李丹.CVD金刚石厚膜的制备及厚膜刀具制造技术[J].工具技术,1999,33(11):8-10. 被引量：5

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