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磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试 被引量:10

Measurement of Bonding Strength of Magnetic Sputtered TiN Coatings by Indentation Method
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摘要 在试验的基础上提出了测量 Ti N涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式 ,作为应用实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的 Ti N涂层界面结合强度的影响 .将测量结果与其它测量方法所得结果进行了比较 ,证明提出的方法切实可行 . The modified formula for calculation of elasto plastic Hertzian contact stress was established. The formula was adopted to calculate the bonding strength of magnetic sputtered TiN coatings and compared with the experimental one. At the same time, the factors affecting the bonding strength of the coatings are discussed as well. As the results, the bonding strength of magnetic sputtered TiN coatings is greatly affected by the substrate surface roughness. In comparison with the other methods for measurement of the bonding strength of coatings, the current method has been found to be applicable and convenient for the bonding strength evaluation of coatings.
出处 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期229-231,共3页 Tribology
基金 机械工业基金资助项目! ( 95JA0 50 2 ) 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室资助项目! ( 970 8)
关键词 结合强度 氮化钛涂层 磁控溅射 压痕法测试 TiN adhesion strength Hertzian contact
  • 相关文献

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共引文献12

同被引文献112

引证文献10

二级引证文献115

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