EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵

英国西萨塞克斯郡，克劳雷（2012年7月3日）全球领先的高精真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新设备经过优化，适用于LED％造中使用的MOCVD工艺，以及在栅堆叠（gatestack）中使用III—V材料的化合物半导体制造工艺。