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纳米ZrO_2缓冲膜的性能研究

STUDY ON THE PERFORMANCE OF NANO-ZrO_2 BUFFER LAYER
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摘要 用溶胶 -凝胶技术 ,在金膜与基体不锈钢箔之间制备了一层ZrO2 缓冲膜。在前期研究工作的基础上 ,通过TEM、AES、SEM等测试手段对ZrO2 缓冲膜的结构及性能进行了表征。结果表明 ,溶胶 -凝胶法制备的ZrO2 缓冲膜的粒度尺寸为纳米级 ;850℃热处理后 ,没有涂覆缓冲膜的蒸金不锈钢箔与金膜之间存在着严重的互扩散反应 ,缓冲膜的涂覆可以有效地抑制高温互扩散反应。带有缓冲膜的蒸金不锈钢箔在高温热处理后仍能保持清晰的Au/ZrO2/SS“三明治”结构及较为光滑平整的富金表面形貌。 Nano-ZrO2 buffer layer between gold film and stainless steel (SS) foil was successfully prepared by sol-gel method. Based on the previous study, the structure and performance of the buffer layer were characterized by TEM、AES and SEM analysis. The results showed that the grain size of sol-gel ZrO2 buffer layer was in the range of nanometres. Heavy interdiffusion and interfacial reaction between gold film and substrate without buffer layer was observed after 850℃annealing, while it could be effectively prevented by ZrO2 buffer layer. For the gold-coated SS foil with buffer layer, a 'sandwich' structure of Au/ZrO2/SS with smooth gold-rich surface clearly remained after 850℃annealing.
出处 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第2期115-118,共4页 Journal of Functional Materials and Devices
基金 国家攀登计划! (07 -01) 国家自然科学基金!资助项目 (59782006)
关键词 缓冲膜 溶胶-凝胶 纳米二氧化锆 性能 Nano-ZrO_2 Buffer layers Sol-gel Interdiffusion
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