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InSb薄膜制备工艺发展综述
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摘要
综述了InSb薄膜的制备方法，氧化和热处理工艺，以及InSb薄膜的发展现状，介绍了InSb薄膜的分析方法和在各类磁阻元件和传感器中的应用。
作者
李锋
机构地区
莱芜职业技术学院
出处
《消费电子》
2012年第08X期208-208,共1页
Consumer Electronics Magazine
关键词
INSB薄膜
真空蒸镀
热处理
灵敏度
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
引文网络
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消费电子
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