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带再生装置的电镀铂系统
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摘要
铂镀层有各种各样的用途,如钛基体上电镀铂广泛应用于不溶性阳极,首饰镀铂等,此外,电镀铂还经常应用于半导体器件的制造中。在半导体器件镀铂时需采用较低的阴极电流密度,在低阴极电流密度下,镀液中部分四价铂会不完全还原为二价铂,使镀液组成发生变化,从而影响铂镀层的质量。
出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2012年第9期8-8,共1页
Plating & Finishing
关键词
镀铂
再生装置
阴极电流密度
半导体器件
系统
镀液组成
不溶性阳极
钛基体
分类号
TQ153.19 [化学工程—电化学工业]
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电镀与精饰
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