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涂层基镀层质量及其影响因素 被引量:4

Qualities of Sputtering Film of Coating Substrate and it's Affecting Factors
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摘要 本文对镀层的外观、镀层的附着力以及镀层的厚度的影响因数包括涂层的质量和镀膜工艺参数进行了分析。 The main factors including pre coating's qualities and depositing process which affect the appearance, adhesion and thickness of sputtering film have been discussed in this paper.
出处 《真空》 CAS 北大核心 2000年第4期40-42,共3页 Vacuum
关键词 磁控溅射 附着力 表面形貌 非金属工件 镀膜 magnetron sputtering adhesion appearance
  • 相关文献

参考文献2

  • 1汪泓宏 田明波.离子束表面强化[M].北京:机械工业出版社,1992..
  • 2[3] Berry R W.薄膜工艺[M].薄膜工艺编译组译,北京:科学出版社,1972.

共引文献18

同被引文献28

引证文献4

二级引证文献15

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