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E+H自动化仪表在多晶硅行业中的应用 被引量:3

Application of the E+H Automation Instrument-ation in the Polysilicon Industry
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摘要 仪表是工业生产的眼睛,关系到工艺流程的稳定性、物料配比的精确性和经济性以及生产过程中人员、设备的安全性。本文分析了发展多晶硅产业的意义、多晶硅生产的现状,重点介绍了E+H自动化仪表在多晶硅行业的应用情况及问题处理。 The instrument is the eye of the industrial production, which is related to stability, accuracy and security of the production process. This paper discusses the significance of the development of polysilicon industry. We address the problem of the E + H automatic instrumentation in the polysilicon industry.
出处 《自动化博览》 2012年第9期110-114,共5页 Automation Panorama1
关键词 多晶硅 E+H 自动化仪表 Polysilicon E+H Automation Instrumentation
  • 相关文献

参考文献5

  • 1陈洪全,岳智.仪表工程施工手册[M].化学工业出版社.2008.
  • 2齐卫红.过程控制系统[M].电子工业出版社.
  • 3丁炜.过程控制仪表及装置[M].电子工业出版社.
  • 4焦小澄,将大纯仪器仪表维修工[M].江苏科学技术出版社.
  • 5邓丰,唐正林.多晶硅生产技术[M].化学工业出版社.

共引文献2

同被引文献15

引证文献3

二级引证文献17

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