退火对ZnMnO:N薄膜p型转变的影响

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摘要采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出具有高结晶质量的ZnO:Mn薄膜,经N离子注入和退火处理,成功实现了ZnMnO:N薄膜的p型转变。

作者南貌

机构地区宝鸡职业技术学院电子信息工程系

出处《科技视界》 2012年第25期149-149,195,共2页 Science & Technology Vision

关键词射频磁控溅射 Mn-N共掺杂离子注入 P型ZNO薄膜退火

分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]

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