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EDWARDS宣布达到尾气处理系统安装里程碑
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摘要
全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司宣布达到具有重大意义的里程碑——自20年前进入市场以来,公司销售的尾气处理系统超过了1万台。此外,在VLSIResearch针对半导体和平板显示器产业的报告——2011年前十大关键分系统供应商(Top10SuppliersofCriticalSubsystems2011)中,Edwaras公司排名第二(详见注释)。
出处
《塑料制造》
2012年第10期54-54,共1页
Plastics Manufacture
关键词
尾气处理系统
里程
安装
尾气处理设备
平板显示器
真空设备
as公司
供应商
分类号
TN873.91 [电子电信—信息与通信工程]
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1
EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统[J]
.半导体技术,2014,39(4):315-315.
2
EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵[J]
.塑料制造,2012(9):60-60.
3
BOC EDWARDS推出用于半导体工艺尾气处理的解决方案HELLOS 6^TM[J]
.半导体技术,2007,32(7):639-639.
4
Edwards在SEMICON China2012展会上展示先进真空技术[J]
.半导体技术,2012,37(4):327-327.
5
Edwards新型iXH500H干泵系列显著降低拥有成本[J]
.电子世界,2012(1):5-5.
6
Edwards发布两款工业应用高性能GXS干式螺杆真空泵[J]
.电子世界,2012(5):4-4.
7
李晓峰.
CVD工艺尾气处理系统[J]
.微电子学,1995,25(3):35-39.
8
Edwards在SEMICONChina2012展会上展示先进真空技术[J]
.电子世界,2012(7):7-7.
9
新型大容量涡轮分子真空泵[J]
.办公自动化(综合月刊),2014(4):19-19.
10
Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能[J]
.电子工业专用设备,2014,43(2):69-70.
塑料制造
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