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全球首座18寸晶圆厂12月就绪

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摘要 2012年国际半导体展目前闭幕，450mm（18英寸）供应链论坛邀请到台积电、全球450mm联盟、应用材料、KLA—Tencor、LamResearch等深度探讨450mm未来发展蓝图，并率先预告世界第1座450mm晶圆厂将于今年12月准备就绪。

出处《电子工业专用设备》 2012年第9期57-57,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词晶圆首座半导体台积电供应链 KLA

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

引文网络
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电子工业专用设备

2012年第9期

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