摘要
介绍一种非ODS水剂清洗机的控制系统 ,该系统采用PLC和人机界面 ,适应了清洗工艺多样化的要求。
The control system for non-ODS aqueous cleaning is presented.Due to use PLC and man-machine interface in this system,applied to diversiform cleaning technology.
出处
《电子工艺技术》
2000年第4期160-163,167,共5页
Electronics Process Technology
关键词
半导体
电子产品
控制系统
非ODS水剂清洗
PLC and man-machine interface
Control system
Non-ODS aqueous cleaning
