三维表面粗糙度测量仪中应用的气浮工作台

Air Flotation Table of Three-dimensional Surface Roughness Measuring Instrument

测量平台运动精度是三维表面粗糙度测量仪中的关键技术。该文讨论了气浮工作台的设计方法,分析了承载能力和气膜刚度,推算出相应的计算公式,研制出能满足三维表面粗糙度测量仪精度要求的气浮工作台,具有十分重要的现实意义和可观的经济效益。