微光机电系统国内外研究进展被引量：15

下载PDF

导出

摘要本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系林及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距,还需多方面的努力.

作者梁静秋

机构地区中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出处《光机电信息》 2000年第8期1-5,共5页 OME Information

关键词微光机电系统微制造技术微器件微机器人

分类号 TH－39 [机械工程]

引文网络
相关文献

参考文献3

1梁静秋,姚劲松.LIGA技术基础研究[J].光学精密工程,2000,8(1):38-41. 被引量：14
2梁静秋,姚劲松.准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究[J].光学精密工程,1999,7(5):63-66. 被引量：6
3贾宏光,吴一辉,王立鼎,唐九华.微小扭矩动态测量[J].光学精密工程,1998,6(2):61-63. 被引量：1

二级参考文献3

1胡文彬，电度表设计、制造及应用，1984年
2张玉书，准分子激光微细加工技术，1990年
3梁静秋,姚劲松,王飞.LIGA 技术中的 X 射线掩膜[J].仪表技术与传感器,1997(3):17-18. 被引量：1

共引文献18

1邓国庆,朱志强,张玉亮.准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅[J].光电子技术与信息,2004,17(5):15-17. 被引量：1
2王振宇,成立,祝俊.微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J].半导体技术,2005,30(8):27-33. 被引量：1
3余成波,陶红艳,张莲,徐霞.基于激光技术的振动定位器质量调态的研究[J].光学精密工程,2005,13(6):715-720.
4胡美些,王宁.我国电铸技术的研究进展[J].电镀与涂饰,2006,25(11):38-41. 被引量：5
5杜立群,刘海军,秦江,朱神渺.微电铸器件铸层均匀性的研究[J].光学精密工程,2007,15(1):69-75. 被引量：19
6明平美,朱荻,胡洋洋,曾永彬.UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J].光学精密工程,2007,15(5):735-740. 被引量：13
7褚金奎,郝秀春,王立鼎.电热驱动镍微夹钳的设计及制作[J].机械工程学报,2007,43(5):116-121. 被引量：10
8曾永彬,朱荻,明平美,胡洋洋.屏蔽膜板随动式微细电铸技术基础研究[J].中国机械工程,2007,18(16):1891-1895. 被引量：3
9杜立群,朱神渺.微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究[J].光学精密工程,2007,15(9):1377-1382. 被引量：10
10李祥友,曾晓雁.激光铣削技术的发展现状与展望[J].激光杂志,2007,28(5):8-9. 被引量：3

同被引文献19

1刘心松,朱鹰.容错并行处理系统结构研究[J].计算机应用,1994,14(1):8-11. 被引量：14
2张杨林.机电一体化技术进展及发展趋势[J].机械制造,2005,43(6):22-24. 被引量：34
3姚睿,王友仁,于盛林.胚胎型仿生硬件及其关键技术研究[J].河南科技大学学报（自然科学版）,2005,26(3):33-36. 被引量：12
4杨明,路琴.机电一体化的研究现状与发展趋势[J].农机化研究,2006,28(8):38-40. 被引量：48
5金志向.光机电一体化技术特征和发展趋势[J].科技咨询导报,2007(15):28-29. 被引量：6
6杨春光.我国机电一体化技术的现状和发展趋势.科技促进发展,2007,3(28):6-8.
7盛新志,娄淑琴.激光原理[M].北京:清华大学出版社,2010.
8李建勇.机电一体化技术[M]北京:科学出版社,2004.
9李运华.机电控制[M]北京:北京航空航天大学出版社,2003.
10徐方.工业机器人产业现状与发展[J].机器人技术与应用,2007(5):2-4. 被引量：76

引证文献15

1黄世祥.电子变频技术的研究[J].硅谷,2009(23):25-25. 被引量：2
2金志向.光机电一体化技术特征和发展趋势[J].科技咨询导报,2007(15):28-29. 被引量：6
3张辉.光机电一体化探析[J].现代企业文化,2010(6):176-176. 被引量：1
4孙素闪,李云涛,徐士峰.机电一体化技术的应用和未来发展[J].科技致富向导,2011(30):219-219. 被引量：10
5赵庆,王迎,李赛.浅谈机电电子技术及其应用研究[J].中国科技博览,2012(13):320-320. 被引量：1
6李卫强.机电一体化的关键技术及发展趋势[J].民营科技,2012(6):25-25. 被引量：1
7徐君林.浅论机电一体化技术及其应用和发展[J].中国科技博览,2012(23):630-631.
8郭洪武.浅析我国机电一体化研究[J].天津科技,2012,39(4):70-71. 被引量：1
9刘恒立.简述发展机电一体化的思路和对策[J].科学与财富,2012(11):276-276.
10高丽娜.关于电子变频技术若干问题的研究[J].中国科技博览,2013(15):276-276.

二级引证文献40

1黄世祥.电子变频技术的研究[J].硅谷,2009(23):25-25. 被引量：2
2张国宏,章钦,徐新军,袁会敬,宋才秀.玻璃管激光分选机——一种新型智能化精密检测分选设备[J].机电产品开发与创新,2004,17(3):28-29. 被引量：2
3葛晓宏,黄红武.应用光机电一体化,促进“海西”制造业升级优化[J].福建工程学院学报,2007,5(1):7-10.
4金志向.光机电一体化技术特征和发展趋势[J].科技咨询导报,2007(15):28-29. 被引量：6
5郭阳宽,吕乃光,祝连庆,董明利,陈青山,牛春晖,周哲海.光机电一体化课程建设探索[J].中国科技博览,2008(24):26-27.
6张国宏,章钦,徐新军,袁会敬,张华山.玻璃管及其制品外径和壁厚检测分档设备[J].机电产品开发与创新,2009,22(2):146-148. 被引量：1
7尹余琴.浅析光机电一体化技术[J].机电信息,2009(36):80-81.
8张辉.光机电一体化探析[J].现代企业文化,2010(6):176-176. 被引量：1
9王福娟,蔡志岗,王嘉辉,雷宏香.多专业协同科研训练培养光机电一体化复合型人才[J].实验室研究与探索,2010,29(6):87-89. 被引量：7
10胡海英.机电一体化产品的技术构成及未来发展趋势[J].中国高新技术企业,2012(4):116-117.

1鞠挥,吴一辉.微型光谱仪的发展[J].微纳电子技术,2003,40(1):30-37. 被引量：29
2杨华勇,周华,路甬祥.水液压技术的研究现状与发展趋势[J].中国机械工程,2000,11(12):1430-1433. 被引量：80
3王立鼎,刘冲.微机电系统科学与技术发展趋势[J].大连理工大学学报,2000,40(5):505-508. 被引量：32
4车志刚.微制造技术与自主创新[J].精密制造与自动化,2006(3):36-42. 被引量：1
5陈子辰,唐任仲.微制造与数字制造——21世纪制造技术的重要发展方向[J].机电工程,2001,18(5):1-3. 被引量：4
6王忠达,刘邦才,闫业矗,蔺东龙.齿轮传动热分析综述[J].机械传动,2014,38(6):159-162. 被引量：8
7范世福.现代分析仪器发展的前沿技术和新思想[J].现代科学仪器,2000,17(3):10-13. 被引量：30
8张臣舜.医用YAG激光机的维修分析和实例[J].医学工程师,1994(2):118-121.
9李莉,齐乐华,徐林峰,杨方.基于材料去除的微制造技术发展[J].机械设计与制造,2005(4):88-90. 被引量：2
10邹群彩,凌祥,涂善东.先进制造模式——分散网络化制造的研究进展[J].南京化工大学学报,2001,23(4):106-110. 被引量：2

光机电信息

2000年第8期

浏览历史

内容加载中请稍等...

微光机电系统国内外研究进展被引量：15

参考文献3

二级参考文献3

共引文献18

同被引文献19

引证文献15

二级引证文献40

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

微光机电系统国内外研究进展 被引量：15

参考文献3

二级参考文献3

共引文献18

同被引文献19

引证文献15

二级引证文献40

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

微光机电系统国内外研究进展被引量：15