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爬行式高精度宽范围微定位系统

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机构地区 中理工大学
出处 《机械制造》 北大核心 2000年第8期55-56,共2页 Machinery
  • 相关文献

参考文献4

  • 11,L.M.Eng,K.D.Jandt.D.Descouts,Rev.Sci.Instrum.65(2).February1994,390-393
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  • 33,L.A.Jones and D.F.Thomas,J.Vac.Sci. Technol.A 10 (4),Jul/Aug 1992,Nanometer-scaleinstabilityat sliding interfaces:Tribo logical considerations in scanning tunneling microscopy
  • 44,A.R.Smith,G.Gwo and C.K.Shih.Rev.Sci. Instrum.65(10).1994,A new high- resdution two-dimensionalmicropositioning device for scanning probe microscopy applications

二级参考文献1

  • 1张鸿海,华中理工大学学报,1995年,24卷,4期,4页

共引文献3

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