摘要
对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差、温度漂移和动态特性等进行了分析研究 ,给出了它们的补偿原理及其实现方法。
A compensation technique for piezoresistive accelerometer's zero error, temperature excursion, dynamic property is worked out in this paper. We give the theory and achieve method of compensation.
出处
《仪表技术》
2000年第4期42-43,49,共3页
Instrumentation Technology
基金
中国工程物理研究院基金!项目 ( 980 3 0 4 1 3 )
关键词
压阻式加速度传感器
零点误差
Sensor Micro silicon accelerometer Compensation Temperature compensation Dynamic property
