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多层样品的PTR理论及其埋层厚度的非接触测量 被引量:3

THEORY OF PHOTOTHERMAL RADIOMETRY FOR MULTILAYER SAMPLES AND NONCONTACT MEASUREMENT OF BURIED LAYER THICKNESS
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摘要 从理论上推导了一般情况下多层样品PTR信号的解析式,分析了光学不透明三层样品。用推导的振幅和位相表达式拟合三层样品的实验数据,并计算出中间层的厚度。 The general analytical expressions of PTR signal for multilayer samples are derived. The optically opaque three-layer sample is analyzed in details. Using the derived amplitude and phase expressions, the experimental data of the three-layer sample are fitted. The thickness of the buried layer in the sample is calculated.
机构地区 苏州大学物理系
出处 《红外研究》 CSCD 北大核心 1990年第3期215-220,共6页
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