CVI反应器气体流动可视化发烟系统

ＣＶＩ反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于ＴｉＣｌ４与Ｈ２Ｏ反应产生ＴｉＯ２烟雾而设计的发烟系统，能使模拟ＣＶＩ反应器内复杂的与不要观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单，可操作性强，形成的烟流总量与密度可调且长时间可视，均匀，流场照片表明其发烟效果很好，能满足ＣＶＩ反应器内气体流场的显示研究。