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双频激光在超精孔径测量中的应用 被引量：2

The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture
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摘要 一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统 ,采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局 ,在 8mm～ 5 0mm的范围内实现 0 .0 1μm的分辨力和 0 .1μm的测量精度。该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中。 A ultra precison measuring system for diameter of aperture based laser wave length was presented. The resolution over 0.01(m and the accuracy over over 0.1μm was obtained in the range 8mm 50mm by means of double frequency laser interference technique.
作者 赵辉 浦昭邦 刘国栋 韩德东
机构地区 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系
出处 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第5期435-436,439,共3页 Optical Technique
关键词 双频激光 超精孔径测量 惯性仪表零件 精度分析 diameter aperture double frequency laser measurement
分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TG81 [金属学及工艺—公差测量技术]
  • 相关文献

参考文献3

  • 1浦昭邦,赵辉,蔡红红,王建民.超精瞄准定位系统的研究[J].计量学报,1997,18(2):81-84. 被引量：2
  • 2吴一辉，仪器仪表学报，1995年，16卷，1期，47页
  • 3高宏，清华大学学报，1988年，28卷，5期，19页

二级参考文献2

  • 1吴一辉，仪器仪表学报，1995年，16卷，1期，47页
  • 2高宏，清华大学学报，1988年，28卷，5期，19页

共引文献1

同被引文献17

  • 1邢照贤,董雨惠.精密孔径仪[J].航空计测技术,1993(2):27-30. 被引量：1
  • 2Castejon M, Alegre E, Barreiro J, et al. On-line tool wear monitoring using geometric descriptors from digital images [ J ]. International Journal of Machine Tools and Manufacture,2007 (47): 1847 -1853.
  • 3Priya P, Ramamoorthy B. The influence of component inclination on surface finish evaluation using digital image processing[J]. International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2007 (47) : 570-579.
  • 4Chihiro Takano, Yuji Ohta. Heart rate measurement based on a time-lapse image [J]. Medical Engineering and Physics,2007(29) : 853 -857.
  • 5Sciammarella C A, Parham Piroozan. Real-time determination of fringe pattern frequencies:An application to pressure measurement[ J ]. Optics and Lasers in Engineering,2007,45 (5) :565 - 577.
  • 6Asad A B M A,Takeshi Masaki,Rahman M,et al. Tool-based micro-machining[ J ]. Journal of Materials Processing Technology, 2007 ( 192 ) :204 -211.
  • 7Gwo-Lianq Chem, Yin Chuang, Lim H S, et al. Study on vibration-EDM and mass punching of micro-holes[ J]. Journal of Materials Processing Technology,2006(180) :151 -160.
  • 8Shen S C,Pan C T, Wang Y R,et al. Fabrication of integrated nozzle plates for inkjet print head using microinjection process[J]. Sensors and Actuators A: Physical,2006, 127 (2) :241-247.
  • 9Luca Lucchese. Geometric calibration of digital cameras through multi-view rectification [ J ]. Image and Vision Computing, 2005, 23 ( 1 ) :517-539.
  • 10[4]CCL Key Comparison.The Calibration of Internal and External Diameter Standards DRAFT A-DATA.July 18,2003

引证文献2

二级引证文献8

光学技术
2000年 第5期

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