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美开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜
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摘要
据物理学家组织网8月21日(北京时间)报道,美国麻省理工学院的研究人员利用电子束光刻技术和剥离过程开发出无缺陷半导体纳米晶体薄膜。这是一种很有前途的新材料,可广泛应用并开辟潜在的重点研究领域。相关报告发表在近期出版的《纳米快报》杂志网络版上。
出处
《光学仪器》
2012年第5期88-88,共1页
Optical Instruments
关键词
晶体薄膜
过程开发
半导体
无缺陷
纳米
美国麻省理工学院
电子束光刻技术
北京时间
分类号
TB497 [一般工业技术]
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