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机电耦合下两端固支微梁的静态分析
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摘要
在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几何结构参数与其最大挠度的关系,进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系。
作者
陈美琴
机构地区
闽西职业技术学院机械工程系
出处
《机电技术》
2012年第5期56-58,共3页
Mechanical & Electrical Technology
关键词
MEMS
两端固支微梁
挠度
厚度
分类号
TP211.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH123.4 [机械工程—机械设计及理论]
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机电技术
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