可在超纯水中检测到小于50nm颗粒的新技术

最近，美国明尼苏达州的C．T．联合股份公司和特拉华州纽华克的W．L戈尔联合股份公司合作开发出一种新的粒度测量技术，用于检测过滤器对平均粒径12nm颗粒的固持效率。C．T．联合股份公司的科学家们开发了液体纳米粒子筛选器（LNS），来对半导体制造用超纯水中细微颗粒的过滤装置进行评估。粒度为10nm的颗粒可降低半导体制造过程的收率，并损害器件的可靠性。