《微光学和纳米光学制造技术》介绍

微纳米光学的重要特征是光学结构和器件的特征尺度往微纳米量级，是微纳米技术与微电子、激光、光电子、通信等多学科交义而迅速发展起来的一门科学。微纳米光电元件和系统在发展上最重要的优势，除了具备体积微型化、重量超轻、集成化、规模化和低成本外，更值得注意的是可以通过微纳光学制造技术，预先能够将光学和电子器件之间的相对位置精确定位，无需再进行非常麻烦和耗时的调整对准，系统的稳定性和可靠性得到非常大的提高。另外，微纳米光学系统可以非常方便地与其他功能的光电系统进行融合、集成和组合，会产生更为广阔的应用和发展。