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电子靶材材料的制作

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摘要 在制造信息基础产品过程中,需要应用各种电子靶材,本文主要介绍了电子靶材应用,电子靶材特性要求,电子靶材制造工艺。
作者 陈卫飞
出处 《科技与生活》 2012年第19期174-175,共2页
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