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电子靶材材料的制作
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摘要
在制造信息基础产品过程中,需要应用各种电子靶材,本文主要介绍了电子靶材应用,电子靶材特性要求,电子靶材制造工艺。
作者
陈卫飞
机构地区
株洲冶炼集团股份有限公司
出处
《科技与生活》
2012年第19期174-175,共2页
关键词
电子靶材
制作
溅射
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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