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选定最佳曝光参数
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摘要
本文以实验的方法确定线宽与曝光参数的关系,控制底版线宽的精确度,减小翻版过程中的误差。
作者
王方
机构地区
华北计算技术研究所PCB中心
出处
《电子信息(印制电路与贴装)》
2000年第3期19-21,共3页
关键词
印刷电路板
最佳曝光参数
生产工艺
分类号
TN410.59 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子信息(印制电路与贴装)
2000年 第3期
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