期刊文献+

厚膜力敏传感器及其应用

Thick Film Sensor of Force Sensitivity and Its Application
下载PDF
导出
摘要 本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。探讨了加快我国厚膜力敏传感器技术创新和产业化的若干问题及建议。 This article described principle of thick film sensor of force sensitivity and its technical feature, general situation of research and development at home and abroad for more ten years. Introduced emphatically present properties of thick film sensor of force sensitivity and its application. Studied some problems and propositions on creating quickly new techniques and industrialization in our country.
出处 《电子元器件应用》 2000年第9期14-17,24,共5页 Electronic Component & Device Applications
关键词 厚膜 力敏传感器 工作原理 Thick film Sensor of force sensitivity
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献14

  • 1鲍敏杭,沈绍群,普琦.微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器[J].仪表技术与传感器,1994(2):7-9. 被引量:1
  • 2马以武,常慧敏,戈瑜.厚膜压力传感器[J].传感器世界,1997,3(3):17-22. 被引量:9
  • 3张立德,纳米材料学,1994年
  • 4苏品书,超微粒子材料技术,1989年
  • 5袁希光,传感器技术手册,1986年
  • 6严钟豪,非电量测试技术,1983年
  • 7Song Jian,The Fifth IUMRS International Conferenceon Advanced Materials,1999年
  • 8马以武,中国专利: ZL96223575, 1998-05-06,1998年
  • 9Yamborin M,Sensors Actuators,1997年,58期,159页
  • 10马以武,中国专利: 952405091, 1997-02-12,1997年

共引文献18

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部