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3-DMCM实用化的进展 被引量:1

The progress of practical application of 3-D MCM's.
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摘要 介绍了 3- D MCM的四种封装模式的应用实例 ,详细讨论了各种模式的工艺 ,优点及存在的问题。 3-D MCM是未来微电子封装的发展趋势。 The applications of four modes of 3 D MCM packages are presented, including their manufacture technologies, advantages and existing problems. It is concluded that 3 D MCM is the trend of microelectronical package. (6 refs)
机构地区 电子科技大学
出处 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2000年第4期28-32,共5页 Electronic Components And Materials
关键词 MCM 封装模式 集成电路 D MCM 3-D MCM stack chips
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