摘要
本文报导的是PVC膜硫氰酸根离子半导体传感器。该传感器具有全固态化,易微型化、集成化和多功能化等特点。并具有良好的能斯特响应。
This paper is about the development of a kind PVC membran thiocyanate ion semiconductor sensors. It's a solid - state, small size and can be miniaturized and integrated. The sensor exhibits Nernst response.
出处
《微电子技术》
2000年第4期32-34,共3页
Microelectronic Technology
关键词
场效应晶体管
硫氰酸根离子
半导体传感器
Ion sensitive field effect transistor(ISFET), Thiocyante ion associate, Semi- conductor sensors