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四川南光真空科技有限公司

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摘要四川南光真空科技有限公司具有30余年生产研发光刻机的经验，为用户提供精制的产品和满意的服务是本公司一贯遵循的宗旨，产品质量在业内受到广泛的赞誉!

出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第11期F0004-F0004,共1页 Micronanoelectronic Technology

关键词真空科技川南产品质量光刻机

分类号 TN873.91 [电子电信—信息与通信工程]

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微纳电子技术

2012年第11期

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