用改进的伦奇检测法精密测量非球面外形

为了精密测量非球面外形，作者根据伦奇检测法原理设计了采用多光束横向剪切干涉术的特殊检测方案。用全息正弦光栅代替传统的刻划光栅，以便仅在０和±１的低序衍射光束才能产生所需的高质量横向剪切。本文所介绍的技术使用效果良好，尤其适用于短焦距的非球形面。