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多弧离子镀靶电流对膜层形貌与性能的影响 被引量:3

Effects of Target Current on Surface Pattern and Properties of Ti_(0.33)Al_(0.67)N Films by Multi-arc Ion Plating
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摘要 采用渗氮与多弧离子镀复合技术,在不同靶电流条件下制备Ti0.33Al0.67N膜层,分析靶电流对膜层形貌、膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。得出靶电流设计范围内存在一个最佳值,以获得膜层最优性能。 Tio.33A10.67N film was prepared by multi-arc ion plating technology with different target current. The effects of target current on the surface pattern, thickness, adhesion strength and vickers hardness of Ti0.33A10.67N coating were analyzed. The best target current parameters within the scope of the existence were obtained.
出处 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第22期151-152,156,共3页 Hot Working Technology
基金 重庆大学机械传动国家重点实验室2009年度开放基金资助项目(SKLMT-KFKT-200907) 江苏省海洋资源开发研究院2011年度开放基金资助项目(JSIMR11C27)
关键词 多弧离子镀 Ti0.33Al0.67N 靶电流 multi-arc ion plating Tio.33Alo.67N target current
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参考文献8

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