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华润上华第二代200VS0I工艺实现量产
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摘要
华润微电子有限公司(“华润微电子”)附属公司华润上华科技有限公司(“华润上华”)近日宣布,继2010年首颗200VSOICDMOS产品量产后,日前更高性价比的第二代SOI工艺实现量产。该工艺是一种集成多种半导体器件的集成电路制造技术,由华润上华在2010年实现量产的一代工艺基础上作了工艺升级,达到更高的性价比,这在国内尚属首家。
出处
《中国集成电路》
2012年第12期5-5,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
SOI工艺
第二代
高性价比
集成电路
半导体器件
制造技术
微电子
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
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