大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性误差分析和补偿

介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器，并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差，为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线，并进行对比。通过分析可知，此方法可以有效减小测量时的非线性误差，大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度，从而实现大量程、高精度测量。