双靶溅射法制作的ZnS:TbOF薄膜电致发光绿色显示板

ZnS:TbOF rtin-film green electroluminesecent panels fabricated by two-target sputtering

本文研究了双靶射频磁控溅射装置,能重复制作明亮的 ZnS∶TbOF薄膜电致发光绿色显示板。ZnS 和 Tb 由各自的靶进行溅射,基片在这两靶间运动。这种设计导致 ZnS 厚度及 Tb 掺杂浓度优良的可控性。已研制出 TbOF 靶以形成有效的 TbOF 络合物中心来提高亮度,并采用 Ar/He 混合气避免了对 ZnS 基质的溅射损伤。已研制成640×200薄膜电致发光绿色显示板样机,证明了本装置的大面积生产能力。根据 ZnS∶TbOF 和 ZnS∶Mn 激活层横向排列,也已制成薄膜电致发光多色显示板。