摘要
VerSa^TM 3D DualiSm是FEI的最新DualBeam仪器Versa3D是一个高度可选配的平台,客户可根据自己的需求来选系统功能的配置。高真空版是常规导电或镀膜样品的理想之选。与之不同,高低真空版可以灵活工作于包括非镀膜、绝缘材料等众多样品。选配的环境扫描电镜ESEM模式可做非镀膜、绝缘体或自然含水样品的电子束成像,并支持原位分析和动态试验。
出处
《中国材料科技与设备》
2012年第6期107-114,共8页
Chinese Materials Science Technology & Equipment