石英敏感元件的非传统加工技术研究进展

本文以石英摆片为例，具体介绍了石英摆片加工的各种成形工艺；给出了各种加工方法的关键加工参数；同时，分析了这些工艺方法的优缺点；对不同加工工艺的加工质量进行了比较和分析，并展望了石英玻璃非传统加工技术的发展前景。