应用高性能电动机和低加速电压成像技术的显微镜

日本株式会社日立高新的Regulusstage技术可使驱动用电动机拥有更高的动力输出和更优的操控性能。将应用了Regulusstage技术的5轴电动机配置于SU8040型场发射扫描电子显微镜中，使电子显微镜的性能同样得到较大提升。