光刻技术在微电子设备上的应用及展望

一、光刻技术在微电子设备上的应用 光刻技术实际上就是利用光学复制的方式将微小图样印到半导体上，用以制作电路并应用到微电子设备中。光刻技术对于微电子设备发展具有重要的作用。光刻技术在是生产集成电路的主要技术，在微点子设备上主要应用于微电子设备上的集成电路、晶体管、半导体等。如今的微电子设备不可缺少的技术条件就是光刻技术。光刻技术不断发展这，精度也逐渐接近光学波长限制。在微电子设备制造中，微电子整个工艺相关的制造都需要光刻技术的支持，用来实现高精度的光刻。